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It is all about light. 

SG-O

CIS/ALS/光传感器晶圆测试仪

提供您在 CIS/ALS/光传感器晶圆级测试中所需的一切。

SG-O 是一款 CIS/ALS/Light-Sensor 晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱,以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。探测器可以处理最大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O集成了超低噪音热卡盘,可提供-60°C至180°C的温度范围,具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS/ALS/光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。

内容

您对这个产品感兴趣吗?
我们的专业团队将为您提供帮助!
我们根据您的需求提供定制解决方案,并将传感技术集成到您的产品、产品应用和 OEM 解决方案中。
告诉我们更多,我们会启发您的想法。

SG-O CIS wafer level tester wafer and probe
特色
高度均匀的光源
可编程自动探测器

Wide Temperature and
Low Noise Chuck

应用
  • CIS/ALS/光传感器晶圆测试;
  • CIS/ALS/光传感器晶圆映射和良率检查
  • ToF传感器测试
  • 激光雷达传感器测试
  • InGaAs PD 测试
  • SPAD传感器测试
  • 光传感器模拟参数测试:
    1. 量子效率
    2. 光谱响应
    3. 系统增益
    4. 灵敏度
    5. 动态范围
    6. 暗电流/噪声
    7. 信噪比
    8. 饱和容量
    9. 线性误差(LE)
    10. DCNU(暗电流非均匀性)
    11. PRNU(光响应非均匀性)
系统设计
SG-O CIS wafer level tester 02_System structure

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor 测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由PC-1的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000,由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在-55 ℃至180 ℃ ,涵盖了大部分IC测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个InGaAs光电探测器通过皮安电流表检测和校准。

规格
SG-O 为您在 CIS/ALS/光传感器晶圆测试中需要的所有内容提供完整的规范。
以下是主要组件及其详细信息。如果您需要更多详细信息,请随时与我们联系!

高度均匀的光源

(a) 10nm FWHM 中心波长:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

(b) 25nm FWHM 中心波长:1010nm, 1250nm, 1450nm

(c) 45±5nm FWHM 中心波长 815nm

(d) 50nm FWHM 的中心波长:1600nm

(e) 60±5nm FWHM 中心波长:650nm

(f) 70±5nm FWHM 的中心波长:485nm, 555nm

(g) 100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm

*带外透光率 ≤ 0.01%

*带通区峰值传输 ≥ 80%

*中心波长容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

*FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

半自动晶圆探针

光谱辐照度计

更多规格

SG-O 集成了Enlitech 的高级光模拟器技术和MPI 自动探针系统。Enlitech 提供多种光学选项以满足用户对 CIS/ALS/光传感器晶圆测试的要求,包括波长范围、光强度和均匀光束尺寸。我们拥有数十年的经验,可以帮助客户解决 CIS/ALS/光传感器晶圆测试和设计变化的挑战。请随时与我们联系以获取更多详细信息。我们的专业团队将为您提供帮助!

主要表现
CIS/ALS/Light-Sensor wafer tester_software
SG-O系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的Labview功能调色板、驱动程序/DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送/接收命令,例如芯片步进、芯片对齐/探测等。
SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer level tester 22_ wafer and camera calibration
来自 SG-O 显微镜系统的 CIS/ALS/光传感器芯片图像。
SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer level tester 23_ wafer and probe card install
SG-O SG O CIS wafer level tester 23 wafer and probe card
CIS/ALS/Light-Sensor 晶圆的探针卡安装图。
SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer level tester 23_ wafer and probe card tips image
用于 CIS/ALS/光传感器晶圆检测的探针头图像。
The light homogenizer of SG-O CIS wafer level tester
SG-O CIS 晶圆级测试仪的光均化器。
The light homogenizer optical simulation and performance .
SG-O CIS晶圆级测试仪光均化器的光学模拟和性能。
SG-O CIS wafer level tester light beam uniformity map
光束均匀度。在 420nm 下用 42mm x 25mm 测试光束点均匀性。不均匀度为 1%。
SG-O SG O CIS wafer level tester 13 Uniform light map
光束均匀度。束斑尺寸为 50mm x 50mm。不均匀性为 1.43%。
The monochromatic light intensities at different wavelengths of SG-O CIS wafer level tester from UV, VIS, to NIR and SWIR.  The light intensity is measured by Si irradiance meter.
不同波长的单色光强度,从紫外到近红外。光强度由Si辐照度计测量。光强度范围能够用于各种 CIS/ALS/光传感器测试。
The monochromatic light intensities at different wavelengths from NIR to SWIR.  The light intensity is measured by the InGaAs irradiance meter.
从 NIR 到 SWIR 不同波长的单色光强度。光强度由InGaAs辐照度计测量。
SG-O的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎。在整个波长范围内,短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。
The light intensity instability of SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer tester at 420nm.
在 420nm 单色光输出下测试光强度短期不稳定性。光不稳定性由 Si 辐照度计监测 60 分钟。1小时的不稳定性为0.12%。
The light intensity instability of SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer tester at 1250nm.
在 1250nm 单色光输出下测试光强短期不稳定性。光不稳定性由SInGaAs辐照度计监测60 分钟。1 小时的不稳定性为 0.09%。
The light intensity short term  instability is tested at 420nm monochromatic light output. The light instability is monitored by the Si irradiance meter for 10hrs. The instability is 0.1% for 10hrs.
在 420nm 单色光输出下测试光强度短期不稳定性。光不稳定性由 Si 辐照度计监测 10 小时。10 小时的不稳定性为 0.1%。
The light intensity short term  instability is tested at 1250nm monochromatic light output. The light instability is monitored by the SInGaAs irradiance meter for 10hrs. The instability is 0.09% for 10hrs
在 1250nm 单色光输出下测试光强短期不稳定性。光不稳定性由SInGaAs辐照度计监测 10小时。10小时不稳定性为 0.09%。
SG-O SG O CIS wafer level tester 18 Variable attenuator has 3 decade resolution wit over 1000 steps
SG-O系统的光强衰减器。光输出强度可以通过PC至少1000步分辨率来控制。
MPI Automatic Prober Fact Sheet

自动探测器的情况说明书。SG-O CIS/ALS/Light-Sensor 晶圆测试仪集成了 MPI 探针。更多细节可以在 MPI 的网站上找到。 

数据源: MPI 

CIS wafer prober_wafer loader

SG-O 探针系统中内置了自动单芯片装载机。便于CIS/ALS/Light-Sensor晶圆装载。装载和卸除晶圆对用户来说是直接和直观的。上料室前部还集成了温度控制面板,方便操作。

SG-O SG O CIS wafer level tester 10 MPI Prober front loader

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor晶圆测试仪还具有手动加载功能,可以从前门手动加载晶圆。该前门具有安全管理功能,可自动监测卡盘温度并防止在测试过程中打开门,以保护 CIS/ALS/Light-Sensor 晶圆和用户的安全。

CIS wafer prober and tester_thermal chuck_cooling-and-heating-priciple

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor晶圆测试仪的热卡盘由ERS最小化的CDA系统控制温度,比以前效率更高。温度范围可覆盖 -80°C 至 180°C(取决于ERA’a型号)。通过使用单独的阀门可以进行氮气吹扫。对于 CIS/ALS/光传感器晶圆测试,目标温度上升速率和稳定性非常出色,可在任何极端条件下(例如空间)进行。 

SG-O SG O CIS wafer level tester 19 Thermal chuck operating range
探针卡尺寸能力可以从4.5 英寸到 8 英寸长。如图所示,DUT与SG-O高均匀光源最后一个光学组件的工作距离超过200mm。
The probe card dimension capability can be from 4.5 inch tup to 8 inch long. The working distance between DUT and last optical element of Highly Uniform Light Source of SG-O is over 200mm as shown in the picture.​
探针卡尺寸能力可以从4.5 英寸到 8 英寸长。如图所示,DUT与SG-O高均匀光源最后一个光学组件的工作距离超过200mm。
应用
  • CIS/ALS/光传感器晶圆测试;
  • CIS/ALS/光传感器晶圆映射和良率检查
  • ToF传感器测试
  • 激光雷达传感器测试
  • InGaAs PD 测试
  • SPAD传感器测试
  • 光传感器模拟参数测试:
    1. 量子效率
    2. 光谱响应
    3. 系统增益
    4. 灵敏度
    5. 动态范围
    6. 暗电流/噪声
    7. 信噪比
    8. 饱和容量
    9. 线性误差(LE)
    10. DCNU(暗电流非均匀性)
    11. PRNU(光响应非均匀性)
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