描述
描述
规格
应用
装机纪录
相关文献
资源
QA
联络我们
描述
4 分钟内掌握全貌，以 50 微米分辨率扫描 100 毫米 x 100 毫米区域
激光扫描缺陷成像仪是激光束感应电流（LBIC）测试的升级版本。 它利用波长能量大于半导体能隙的激光光束照射半导体，产生电子-电洞对。 透过快速扫描样品表面，获得揭示内部电流变化的影像分布，以分析各种缺陷分布。 这有助于分析样品制备的质量，并有助于制程改进。
特点
- 扫描光生电流的分布
- 分析表面污染
- 扫描光电压的分布
- 分析短路区域的分布
- 扫描开路电压和短路电流的分布
- 识别和分析微裂纹区域
- 分析少数载子扩散长度的分布（选配功能）
规格
| Item | Parameter Description. |
|---|---|
| Function | a. Utilizing laser beams with wavelengths that have higher energy than the semiconductor bandgap to generate electron-hole pairs in the semiconductor, exploring the impact of the depletion region on internal current changes to understand and analyze various defect distributions as a direction for process improvement. b. Capable of scanning the distribution of photo-generated current on the surface of the sample. c. Capable of scanning the distribution of photo-voltage on the surface of the sample. d. Capable of analyzing surface contamination. e. Capable of analyzing the distribution of short-circuit regions. f. Capable of identifying and analyzing microcrack regions. g. Capable of analyzing the distribution of minority carrier diffusion length (optional). |
| Excitation source | 450 ±10nm Laser |
| Scan area | ≦100mm x 100mm |
| Laser spot size | Close to TEM00 mode spot |
| Mapping resolution | a. Scanning resolution ≤ 50 µm b. Scanning resolution can be set by software |
| Mapping time | <4 mins (For 100 mm x 100 mm with 50 um resolution) |
| Dimension | 60 cm * 60 cm * 100 cm |
| Software | a. LBIC 3D visualization b. 2D cross-sectional analysis (electrode aspect ratio) c. Photo-current response distribution analysis (in conjunction with long-wavelength laser source) d. Data saving and export functions |
系统设计
应用
硅太阳能电池光电流分布（405 纳米）
6 英寸硅晶太阳能电池扫描（17 秒）
LSD4-OPV 光响应电流分布图
LSD4-OPV 光响应电流分布图
钙钛矿太阳能电池
分辨率为 50 微米的非均匀性分析
总线/栅线纵横比检测（横截面分析）
钙钛矿电池老化分析
老化分析 - 放大特定区域以详细分析老化的原因
评价
目前还没有评价