CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試儀
提供您在 CIS / ALS / 光傳感器晶圓級測試中所需的一切。
SG-O 是一款 CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀，它結合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續白光光譜，以及在許多不同波長下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測器可以處理最大。200mm 晶圓尺寸和尺寸大於 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O 集成了超低噪音熱卡盤，可提供 -60°C 至 180°C 的溫度範圍，具有快速的升溫速度和穩定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光傳感器設計驗證或工藝良率檢查中所需的一切。
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特色
高度均勻的光源
- 從 UV 到 SWIR 的寬光譜範圍。
- 超過 50mm x 50mm 區域的高度均勻性超過 98%
- 超穩定光強度，可維持不穩定性 < 0.2% 長達 10 小時以上
- 高光強動態範圍，高達 140dB
可編程自動探測器
- 200mm ~ 10mm 晶圓或芯片處理能力
- 用於最準確可靠的 DC / CV、RF 測量
- 穩定的功能顯微鏡系統
- 整合硬件控制面板
- 自動晶圓裝載機
- 智能晶圓映射
寬溫及低噪音卡盤
- 模塊化卡盤
- -80°C 至 180°C 的寬溫度範圍
- 先進的 CDA 熱控制技術，高斜坡率和高溫穩定性
- 用於精確 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試的超低噪聲
應用
- CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試
- CIS / ALS / 光傳感器晶圓映射和良率檢查
- ToF 傳感器測試
- 激光雷達傳感器測試
- InGaAs PD 測試
- SPAD 傳感器測試
- 光傳感器模擬參數測試：
- 量子效率
- 光譜響應
- 系統增益
- 靈敏度
- 動態範圍
- 暗電流/噪聲
- 信噪比
- 飽和容量
- 線性誤差（LE）
- DCNU（暗電流非均勻性）
- PRNU（光響應非均勻性）
系統設計
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 測試儀（晶圓級）系統圖。高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導到光學均化器以產生均勻的光束。顯微鏡和均質器由 PC-1 的自動平移台控制，以切換位置和功能。Prober 系統為 MPI TS2000，由 PC-2 控制。卡盤台的位置也由 PC-2 控制。熱卡盤溫度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ，涵蓋了大部分 IC 測試溫度範圍。光強度由一個 Si 光電探測器和一個 InGaAs 光電探測器通過皮安電流表檢測和校準。
規格
SG-O 為您在 CIS / ALS/ 光傳感器晶圓測試中需要的所有內容提供完整的規範。以下是主要組件及其詳細信息。如果您需要更多詳細資訊，請隨時與我們聯繫！
高度均勻的光源
- 光譜範圍：400nm 至 1700nm
- 色溫：3000K 至 5200K
- 均勻照明面積：42mm x 25mm，工作距離 >200mm
- 照度均勻度：優於98%
- 短期光不穩定性：≤ 1% 超過 1 小時
- 長期光不穩定性：≤ 1% 超過 10 小時
- DUT與最後一個光學元件之間的工作距離：≥200mm 工作距離
- 單色光生成：
- 10nm FWHM 中心波長： 420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm
- 25nm FWHM 中心波長： 1010nm, 1250nm, 1450nm
- 45±5nm FWHM 中心波長： 815nm
- 50nm FWHM 的中心波長： 1600nm
- 60±5nm FWHM 中心波長： 650nm
- 70±5nm FWHM 的中心波長： 485nm, 555nm
- 100±5nm FWHM 的中心波長： 1600nm
- 帶外透光率 ≤ 0.01%
- 帶通區峰值傳輸 ≥ 80%
- 中心波長容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
- FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
- 可變衰減器：PC 控制的 3-decade 分辨率，至少 1000步
半自動晶圓探針
- 晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圓和尺寸大於 1cm x 1cm 的單芯片
- 晶圓處理：單晶圓，手動進料型
- 半自動化：一步手動對準教和自動模步進
- XYZ 平台
- 卡盤 XY 載物台行程：210mm x 300mm
- 卡盤 XY平台分辨率：優於 0.5um
- 夾頭 XY 平台精度：優於 2.0um
- 卡盤 XY 平台速度：最慢：10 微米/秒，最快：50 毫米/秒
- Chuck Z 載物台行程：50mm
- Chuck Z 載物台行程：50mm
- Chuck Z 平台分辨率：0.2um
- Theta 平台
- Theta 載物台行程：± 5 度運動範圍
- Theta 分辨率：優於 0.01 度
- Theta 精度：0.1 度
- 卡盤
- 卡盤平整度 ≤ 10um
- 卡盤熱操作：-60°C 至 200°C
- 25°C 時的卡盤洩漏： 25°C 時在 10V 偏壓下每個電壓 ≤ 20fA
- 卡盤剩餘電容 ≤ 95fF
- 探針卡
- 探針卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸長
- 探針卡座與壓板之間的間隙：≥ 7.5mm
- 微型腔室
- EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1 MHz 範圍內 ≥ 30dB
- 系統交流噪聲：≤ 5 mVp -p
- 微型定位器
- 顯微鏡
- 隔振台
光譜輻照度計
- 光譜範圍：400nm 至 1600nm
- 波長分辨率：400nm 到 1000nm 增加步長 < 1nm；1000nm 到 1600nm 增加步長 < 3.5nm
- 校準：NIST 可追溯校准證書
更多規格
SG-O 集成了 Enlitech 的高級光模擬器技術和 MPI 自動探針系統。Enlitech 提供多種光學選項以滿足用戶對 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試的要求，包括波長范圍、光強度和均勻光束尺寸。我們擁有數十年的經驗，可以幫助客戶解決 CIS / ALS / 光傳感器晶圓測試和設計變化的挑戰。請隨時與我們聯繫以獲取更多詳細資訊。我們的專業團隊將為您提供幫助！
主要表現
SG-O 系統的操作軟件。對於高度均勻光源控制軟件，SG-O 提供光源系統控制和光強測量。提供了各個光學組件的 Labview 功能調色板、驅動程序 / DLL 文件。該軟件控制所述平移台以促進照射大是在零件的設備。集成鏈接的整合包括發送 / 接收命令，例如芯片步進、芯片對齊 / 探測等。
來自 SG-O 顯微鏡系統的 CIS / ALS / 光傳感器晶片圖像
CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓的探針卡安裝圖
用於 CIS / ALS / 光傳感器晶圓檢測的探針頭圖像
SG-O CIS 晶圓級測試儀的光均化器
SG-O CIS 晶圓級測試儀光均化器的光學模擬和性能
光束均勻度, 在 420nm 下用 42mm x 25mm 測試光束點均勻性, 不均勻度為 1% 圖示
光束均勻度, 束斑尺寸為 50mm x 50mm, 不均勻性為 1.43% 圖示
不同波長的單色光強度, 從紫外到近紅外；光強度由 Si 輻照度計測量, 光強度範圍能夠用於各種 CIS / ALS / 光傳感器測試圖示
從 NIR 到 SWIR 不同波長的單色光強度, 光強度由 InGaAs 輻照度計測量圖示
SG-O 的高度均勻光源具有一個超穩定的光引擎, 在整個波長范圍內，短期或長期的光強不穩定性均優於 0.2%。
圖示在 420nm 單色光輸出下測試光強度短期不穩定性, 光不穩定性由 Si 輻照度計監測 60 分鐘, 1小時的不穩定性為 0.12%
圖示在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期不穩定性, 光不穩定性由 SInGaAs 輻照度計監測 60 分鐘, 1 小時的不穩定性為 0.09%
在 420nm 單色光輸出下測試光強度短期不穩定性, 光不穩定性由 Si 輻照度計監測 10 小時, 10 小時的不穩定性為 0.1% 圖示
在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期不穩定性, 光不穩定性由 SInGaAs 輻照度計監測 10小時, 10小時不穩定性為 0.06% 圖示
圖示為 SG-O 系統的光強衰減器, 光輸出強度可以通過 PC 至少 1000 步分辨率來控制
自動探測器的情況說明書, SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀集成了 MPI 探針。更多細節可以在 MPI 的網站上找到。
資料來源：MPI
SG-O 探針系統中內置了自動單晶片裝載機。便於CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓裝載。裝載和卸載晶圓對用戶來說是直接和直觀的。上料室前部還集成了溫度控制面板，方便操作。
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓測試儀還具有手動加載功能，可以從前門手動加載晶圓。該前門具有安全管理功能，可自動監測卡盤溫度並防止在測試過程中打開門，以保護 CIS / ALS / Light-Sensor 晶圓和用戶的安全。
探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長, 如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源最後一個光學元件的工作距離超過 200mm
探針卡尺寸能力可以從 4.5 英寸到 8 英寸長, 如圖所示 DUT 與 SG-O 高均勻光源最後一個光學元件的工作距離超過 200mm