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SG-O

CIS/ALS/光傳感器晶圓測試儀

提供您在 CIS/ALS/光傳感器晶圓級測試中所需的一切。

  SG-O 是一款 CIS/ALS/Light-Sensor 晶圓測試儀,它結合了高度均勻的光源和半自動晶圓探測器。高度均勻光源可以提供從 400nm 到 1700nm 的連續白光光譜,以及在許多不同波長下具有一定 FWHM 的單色光輸出。探測器可以處理最大。200mm 晶圓尺寸和尺寸大於 1cm x 1cm 的單芯片。SG-O集成了超低噪音熱卡盤,可提供-60°C至180°C的溫度範圍,具有快速的升溫速度和穩定性。SG-O 提供您在 CIS/ALS/光傳感器設計驗證或工藝良率檢查中所需的一切。 

內容

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SG-O CIS wafer level tester wafer and probe

特色

高度均勻的光源

可編程自動探測器

寬溫及低噪音卡盤

應用

  • CIS/ALS/光傳感器晶圓測試
  • CIS/ALS/光傳感器晶圓映射和良率檢查
  • ToF傳感器測試
  • 激光雷達傳感器測試
  • InGaAs PD 測試
  • SPAD 傳感器測試
  • 光傳感器模擬參數測試:
    1. 量子效率
    2. 光譜響應
    3. 系統增益
    4. 靈敏度
    5. 動態範圍
    6. 暗電流/噪聲
    7. 信噪比
    8. 飽和容量
    9. 線性誤差(LE)
    10. DCNU(暗電流非均勻性)
    11. PRNU(光響應非均勻性)

系統設計

SG-O CIS wafer level tester 02_System structure

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor 測試儀(晶圓級)系統圖。高度均勻的光源由 PC-1 控制。光輸出由光纖引導到光學均化器以產生均勻的光束。顯微鏡和均質器由PC-1的自動平移台控制,以切換位置和功能。Prober 系統為 MPI TS2000,由 PC-2 控制。卡盤台的位置也由 PC-2 控制。熱卡盤溫度可控制在-55 ℃至180 ℃ ,涵蓋了大部分IC測試溫度範圍。光強度由一個 Si 光電探測器和一個InGaAs光電探測器通過皮安電流表檢測和校準。 

規格

SG-O 為您在 CIS/ALS/光傳感器晶圓測試中需要的所有內容提供完整的規範。以下是主要組件及其詳細信息。如果您需要更多詳細資訊,請隨時與我們聯繫!

高度均勻的光源

(a) 10nm FWHM 中心波長: 420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

(b) 25nm FWHM 中心波長: 1010nm, 1250nm, 1450nm

(c) 45±5nm FWHM 中心波長: 815nm

(d) 50nm FWHM 的中心波長: 1600nm

(e) 60±5nm FWHM 中心波長: 650nm

(f) 70±5nm FWHM 的中心波長: 485nm, 555nm

(g) 100±5nm FWHM 的中心波長: 1600nm

*帶外透光率 ≤ 0.01%

*帶通區峰值傳輸 ≥ 80%

*中心波長容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

*FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

半自動晶圓探針

光譜輻照度計

更多規格

  SG-O 集成了Enlitech 的高級光模擬器技術和MPI 自動探針系統。Enlitech 提供多種光學選項以滿足用戶對 CIS/ALS/光傳感器晶圓測試的要求,包括波長范圍、光強度和均勻光束尺寸。我們擁有數十年的經驗,可以幫助客戶解決 CIS/ALS/光傳感器晶圓測試和設計變化的挑戰。請隨時與我們聯繫以獲取更多詳細資訊。我們的專業團隊將為您提供幫助!

主要表現

CIS/ALS/Light-Sensor wafer tester_software

SG-O系統的操作軟件。對於高度均勻光源控制軟件,SG-O 提供光源系統控制和光強測量。提供了各個光學組件的Labview功能調色板、驅動程序/DLL 文件。該軟件控制所述平移台以促進照射大是在零件的設備。集成鏈接的整合包括發送/接收命令,例如芯片步進、芯片對齊/探測等。

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer level tester 22_ wafer and camera calibration

來自 SG-O 顯微鏡系統的 CIS/ALS/光傳感器晶片圖像。

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer level tester 23_ wafer and probe card install
SG-O SG O CIS wafer level tester 23 wafer and probe card

CIS/ALS/Light-Sensor 晶圓的探針卡安裝圖。

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer level tester 23_ wafer and probe card tips image

用於 CIS/ALS/光傳感器晶圓檢測的探針頭圖像。

The light homogenizer of SG-O CIS wafer level tester

SG-O CIS 晶圓級測試儀的光均化器。

The light homogenizer optical simulation and performance .

SG-O CIS晶圓級測試儀光均化器的光學模擬和性能。

SG-O CIS wafer level tester light beam uniformity map

光束均勻度。在 420nm 下用 42mm x 25mm 測試光束點均勻性。不均勻度為 1%。

SG-O SG O CIS wafer level tester 13 Uniform light map

光束均勻度。束斑尺寸為 50mm x 50mm。不均勻性為 1.43%。

The monochromatic light intensities at different wavelengths of SG-O CIS wafer level tester from UV, VIS, to NIR and SWIR.  The light intensity is measured by Si irradiance meter.

不同波長的單色光強度,從紫外到近紅外。光強度由Si輻照度計測量。光強度範圍能夠用於各種 CIS/ALS/光傳感器測試。

The monochromatic light intensities at different wavelengths from NIR to SWIR.  The light intensity is measured by the InGaAs irradiance meter.

從 NIR 到 SWIR 不同波長的單色光強度。光強度由InGaAs輻照度計測量。

SG-O的高度均勻光源具有一個超穩定的光引擎。在整個波長范圍內,短期或長期的光強不穩定性均優於 0.2%。

The light intensity instability of SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer tester at 420nm.

在 420nm 單色光輸出下測試光強度短期不穩定性。光不穩定性由 Si 輻照度計監測 60 分鐘。1小時的不穩定性為0.12%。

The light intensity instability of SG-O CIS/ALS/Light-Sensor wafer tester at 1250nm.

在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期不穩定性。光不穩定性由SInGaAs輻照度計監測60 分鐘。1 小時的不穩定性為 0.09%。

The light intensity short term  instability is tested at 420nm monochromatic light output. The light instability is monitored by the Si irradiance meter for 10hrs. The instability is 0.1% for 10hrs.

在 420nm 單色光輸出下測試光強度短期不穩定性。光不穩定性由 Si 輻照度計監測 10 小時。10 小時的不穩定性為 0.1%。

The light intensity short term  instability is tested at 1250nm monochromatic light output. The light instability is monitored by the SInGaAs irradiance meter for 10hrs. The instability is 0.09% for 10hrs

在 1250nm 單色光輸出下測試光強短期不穩定性。光不穩定性由SInGaAs輻照度計監測 10小時。10小時不穩定性為 0.06%。

SG-O SG O CIS wafer level tester 18 Variable attenuator has 3 decade resolution wit over 1000 steps

SG-O系統的光強衰減器。光輸出強度可以通過PC至少1000步分辨率來控制。

MPI Automatic Prober Fact Sheet

自動探測器的情況說明書。SG-O CIS/ALS/Light-Sensor 晶圓測試儀集成了 MPI 探針。更多細節可以在 MPI 的網站上找到。 

資料來源:MPI 

CIS wafer prober_wafer loader

SG-O 探針系統中內置了自動單晶片裝載機。便於CIS/ALS/Light-Sensor晶圓裝載。裝載和卸載晶圓對用戶來說是直接和直觀的。上料室前部還集成了溫度控制面板,方便操作。

SG-O SG O CIS wafer level tester 10 MPI Prober front loader

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀還具有手動加載功能,可以從前門手動加載晶圓。該前門具有安全管理功能,可自動監測卡盤溫度並防止在測試過程中打開門,以保護 CIS/ALS/Light-Sensor 晶圓和用戶的安全。

CIS wafer prober and tester_thermal chuck_cooling-and-heating-priciple

SG-O CIS/ALS/Light-Sensor晶圓測試儀的熱卡盤由ERS最小化的CDA系統控制溫度,比以前效率更高。溫度範圍可覆蓋 -80°C 至 180°C(取決於ERA’a型號)。通過使用單獨的閥門可以進行氮氣吹掃。對於 CIS/ALS/光傳感器晶圓測試,目標溫度上升速率和穩定性非常出色,可在任何極端條件下(例如空間)進行。 

SG-O SG O CIS wafer level tester 19 Thermal chuck operating range

探針卡尺寸能力可以從4.5 英寸到 8 英寸長。如圖所示,DUT與SG-O高均勻光源最後一個光學元件的工作距離超過200mm。

The probe card dimension capability can be from 4.5 inch tup to 8 inch long. The working distance between DUT and last optical element of Highly Uniform Light Source of SG-O is over 200mm as shown in the picture.​

探針卡尺寸能力可以從4.5 英寸到 8 英寸長。如圖所示,DUT與SG-O高均勻光源最後一個光學元件的工作距離超過200mm。

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